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现代薄膜材料与技术

【书名】 现代薄膜材料与技术
【作者】 张永宏
【出版社】 西安西北工业大学出版社
【出版时间】 2016.08
【关键词】 薄膜工程材料
【摘要描述】 本书由薄膜制备技术、薄膜检测技术和典型薄膜材料及其应用部分构成，系统介绍了现代薄膜技术中涉及到的真空的获得和测量方法、薄膜制备技术中重要的物理和化学方法、薄膜材料常用的结构分析和性能测试方法，全面阐述了典型薄膜材料的制备、结构、性能和应用。
【中国图书分类号】 TB383

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