功能薄膜及其沉积制备技术

【书名】 功能薄膜及其沉积制备技术
【作者】 戴达煌,代明江,侯惠君编
【出版社】 北京冶金工业出版社
【出版时间】 2013.01
【关键词】 功能材料薄膜技术
【摘要描述】 本书较全面地叙述了功能薄膜及其沉积制备技术。
结合功能薄膜的特点和工程应用与发展实际,概要地讲述了薄膜的含义、特征和分类及功能薄膜设计的原则重点讲述了气相沉积、三束材料表面改性、复合处理等先进功能薄膜沉积制备方法、原理、工艺特点及适用的领域在装饰与机械功能薄膜中,讲述了主要膜系、膜层的设计原则,并分别列举了装饰与机械功能膜的典型应用及发展趋势在物理和特殊功能薄膜中,讲述
【中国图书分类号】 TB43

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