等离子体化学与工艺

【书名】 等离子体化学与工艺
【作者】 赵化侨编
【出版社】 合肥中国科学技术大学出版社
【出版时间】 1993.02
【关键词】 等离子体化学
【摘要描述】 英文题名阐述了等离子体化学的基本理论和和应用技术包括等离子体的发生、辉光放电过程的应用与解析、溅射制膜等章。
【中国图书分类号】 O646.9

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