等离子体与成膜基础

【书名】 等离子体与成膜基础
【作者】 日小沼光晴张光华编译
【出版社】 北京国防工业出版社
【出版时间】 1994.06
【关键词】 等离子体物理学薄膜物理学薄膜物理学等离子体物理学
【摘要描述】 分等离子体的概念和状态、低温等离子体与成膜、非晶硅薄膜的高速沉积等章。
【中国图书分类号】 O53;O484

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