氧化锌和氮化铝薄膜制备与表征实例

【书名】 氧化锌和氮化铝薄膜制备与表征实例
【作者】 赵祥敏,赵文海
【出版社】 北京冶金工业出版社
【出版时间】 2015.06
【关键词】 氧化锌薄膜技术氮化铝薄膜技术
【摘要描述】 本书以实例的形式,介绍了用磁控溅射法制备氧化锌薄膜、氮化铝薄膜和复合膜的详细工艺和性能表征。
全书共分八章,主要介绍了和的晶体结构、能带结构、性能与应用,和薄膜的常用制备方法及性能表征手段,薄膜、薄膜、复合膜的制备方法与性能表征,不同溅射时间下缓冲层对薄膜的影响,退火温度对掺杂薄膜的影响等内容。
【中国图书分类号】 TB43

在线工具导航